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致力于先进生物与化学传感技术解决方案
◆ 高性能
◆ 高灵敏度
◆ 高均一性
◆ 高稳定性
◆ 低噪声
◆ 低功耗
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采用IGZO（氧化铟镓锌）作为沟道材料构建的通用型底 栅结构器件，具有高性能、高均一、微型化、高电子迁 移率、高稳定性、高良品率、低噪声、低功耗的特点。 器件老化测试72小时后，非真空环境中四周时间阈值无 漂移。工艺稳定性好，连续多个批次良率达到100%。 尺寸大小可定制，易于后续二次加工，可兼容半导体分 析仪和探针台测试。
生物与化学标志物检测平台
| 沟道材料 | IGZO |
| 晶圆尺寸 | 4 英寸 |
| 开关比 | ＞10⁶ |
| 开态电流变异系数 | ＜5% |
| 迁移率 | 10~16 cm2 /(V·s) |
